Общие сведения о Центре
Центр коллективного пользования научным оборудованием «Диагностика микро- и наноструктур» создан при Ярославском госуниверситете 1 ноября 2006 г., приказ №382, решение Ученого совета ЯрГУ от 24.10.2006 г.
Центр входит в национальную нанотехнологическую сеть.
Общие сведения о Центре (.pdf)
Буклет Центра (.pdf)
Программа развития Центра_2017-2021 (.pdf)
Регламент работы Центра 2018 г. (.pdf)
Перечень научного оборудования Центра коллективного пользования (.pdf)
Центр - участник мероприятий Национальных проектов и Государственных программ:
- ФЦП РФ "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России" на 2007-2012 годы.
- ФЦП РФ "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России" на 2014-2020 годы.
- ФЦП РФ "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России" на 2014-2020 годы.
- ГП РФ "Развитие науки и технологий" на 2013-2020 годы
- ГП РФ "Развитие электроники и радиоэлектронной промышленности
Центр расположен на площади ~ 1000 м2, общая численность персонала — 41 человек, в том числе: докторов 7, кандидатов наук 12, аспирантов 1, студентов 10.
Объем научно-исследовательских работ:
за 2008 - 2011 г.г. — 347,856 млн. руб;
за 2012 - 2017 г.г. — 420,602 млн. руб.
Центр располагает самым современным аналитическим и диагностическим оборудованием для выполнения следующих видов работ:
- Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторских разработки в области микро- и наноэлектроники;
-
Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области микро- и наносистемной техники:
- глубокое анизотропное плазмохимическое травление (Plasmalab 100)
- двухсторонняя литография (SUSS MJB4)
-
Научно-исследовательские работы и опытно-конструкторские разработки в области химических источников тока (совместно с ИФХЭ РАН):
- изготовление тонкопленочных нанокомпозитных анодов (Оратория 22 с системой РРГ MKS)
- изготовление тонкопленочных нанокомпозитных катодов (Оратория 5 с системой РРГ MKS)
- Диагностика микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов.
-
Заказной анализ широкого класса объектов методами:
- вторичной ионной масс-спектрометрии (IMS-4F);
- времяпролетной ионной масс-спектрометрии (IONTOF SIMS5);
- электронной сканирующей микроскопии (Supra 40);
- туннельной сканирующей микроскопии (GPI-Cryo-SEM);
- электронно-ионной сканирующей микроскопии (Quanta 3D 200i);
- просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN);
- зондовой микроскопии (СММ 2000) и профилометрии (модель 130);
- обратного резерфордовского рассеяния (К2МV);
- оже-спектроскопии (PHI-660);
- ИК фурье-спектроскопии (IFS 113-v);
- рентгеноструктурного анализа (ARL X'tra);
- Рамановской спектрометрии (EnSpector R532);
- оптической цифровой микроскопии (Keyence VHX-2000);
- газо-адсорбционной порозиметрии (Thermo Scientific SURFER);
- измерения характеристик солнечных элементов (Oriel I-V);
- измерения характеристик матричных фотоэлементов (модель АЧТ M345X-LC);
- циклической вольтамперометрии (многоканальный потенциостат-гальваностат P-20X8);
- циклической вольтамперометрии (АЗРИВК10-0,05А-5В);
- импедансометрии (потенциостат-гальваностат P-40X с модулем измерения электрохимического импеданса FRA-24M);
-
Научно-образовательные услуги:
- обеспечение основной образовательной программы «Электроника и наноэлектроника». Программа включена в реестр образовательных программ ОАО Роснано;
- повышение квалификации и подготовка операторов аналитического и технологического оборудования микро- и наноэлектроники. Программа включена в реестр ОАО Роснано;
- поддержка спецкурсов отдельных образовательных программ;
- экспериментальная поддержка курсовых работ, дипломных проектов, кандидатских и докторских диссертаций.
